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シールドルーム
シールドルームの設計・施工に対し、数種の遮蔽材の適用性や必要不可欠な開口部の設置等について、実験と検証を繰り返し発売の手法を確立しておりますので、計画設計からお手伝い致します。
1.背景
産業界の最先端を担う電気・電子分野の応用は、時間も追いつかぬほどの目まぐるしさがあります。
しかしその結果、不要な電磁波が環境に与える影響は社会問題にもなっている現状から、装置やシステムの確実な動作を可能とする信頼性の高い環境整備の必然性も生まれてきます。
当社はこれらのニーズに応えるべく、不要な電磁波を遮断する高性能なシールドルームの開発を行っております
2.開発の経緯
半導体製造プロセスなどでは、ますます微細化加工が要求されるようになり、たとえば、電子線描画装置(EB装置)は、ほんのわずかの磁場変動が電子線に影響し、描画性能が著しく低下すると言われます。
そこで、新日本空調は、磁気シールドルームの開発に積極的に取り組み、お客様からご好評を頂いております。
3.磁気シールドルームの原理
磁気シールドとは、
 (1) ケーブルや機器などを発生源とする電流磁場
 (2) エレヴェーターや車などの強磁性体の移動を発生源とする磁場
 (3)地磁気の変動
を極力抑えることを言います。
この目的のため、対象室の周囲を透磁率材料で囲った部屋をシールドルームと言います。
磁気シールドルームの原理
高透磁率材料で囲むこと
(パーマロイ:μs=数万〜数十万 がよく用いられる)

4.磁気シールドルームの設計/施工の注意点


磁気シールドルームの遮蔽性能は、どうしても設けなければならない扉やダクト開口などを如何に有効に遮蔽するかと言っても過言ではありません。
新日本空調は、このため種々の実験と検証を行い、これらの手法を確立しました。
 
 

5.磁気シールドルームの効果


磁気シールドルームの施工前後の磁場測定値を下図に示します。
 
 
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