Event & News
ドライエア中のCO2濃度制御技術を開発
CO濃度5ppm以下の試験環境を提供
2013.7.29
 
 新日本空調株式会社は、2011年に開発した「ドライエア供給システム」(2011年9月13日発行の当社ニュースリリース参照)を発展させ、ドライエア中のCO2濃度(400ppm前後)を約100分の1となる5ppm以下まで除去する技術を開発し、試験環境を提供します。
 同時に、汎用の濃度計では難しい5ppm以下の計測を可能とし、コストパフォーマンスの高い濃度管理を構築しました。
 2013年9月から当社の技術開発研究所において、水分およびCO2の低濃度環境を提供する装置を本格稼動させ、本装置を低CO2濃度下における試験や検証などを計画・実施されるお客様向けの試験環境として提供して参ります。
1.開発に至る経緯
 半導体、液晶、有機ELや二次電池の製造過程においては、ドライエア供給による「低露点環境」が求められると共に、人が作業をするような大きな空間や製造の効率化に伴う装置の大型化に伴い、ドライエアを常圧で多量に供給するシステムが必要となっています。また、近年、特殊な新規素材を用いた製品の高性能化を目指して、製造環境におけるCO2などの空気成分の濃度調整が求められつつあります。
 そこで当社は、ドライエア供給と同様に吸着ロータを用い、空気中からCO2を吸着して低濃度化する技術を活用した低CO2濃度供給システムを構築いたしました。
2.CO2濃度5ppm以下供給の実現
 吸着ロータを用いた装置を使って効率的にCO2を除去する技術開発を行い、従前まで10〜20ppmと言われていた供給下限濃度を5ppm以下にすることができました。その供給フローを図1に示します。
 吸着ロータ入口空気条件、再生温度、ロータ回転数を最適にすることにより、供給CO2濃度5ppm以下を実現しました。
図1 低濃度CO2空気の供給フロー例(実測値)

図1 低濃度CO2空気の供給フロー例(実測値)


3.汎用濃度計によるCO2濃度5ppm以下の低濃度計測
 数ppmオーダーのCO2濃度計測には、高価で高精度な分析器が用いられることが一般的です。当社は、低価格な汎用濃度計でも数ppmの低濃度が測れるように、汎用の濃度計が有する性能を十分に引き出し、低濃度域の計測を可能とする最適な計測手法を明らかにしました。
 本手法を用いて、高純度ガスの混合による空気成分を模擬したサンプル空気のCO2濃度を計測した結果が、図2です。ドライ環境では±1ppm、一般湿度環境では±2ppmの計測精度を維持できました。本手法より、汎用のCO2濃度計でも高精度のものと同等の計測ができ、計測に係るコストを大幅に削減することが可能です。
図2 汎用濃度計を用いた低CO2濃度の計測結果

図2 汎用濃度計を用いた低CO2濃度の計測結果


4.今後の展開
 当社は、2013年9月から当社の技術開発研究所において、水分およびCO2の低濃度環境を提供する装置を本格稼動させ、本装置を低CO2濃度環境下における試験や検証などを計画・実施されるお客様向けの試験環境として提供して参ります。
 今後は、製造環境における「低CO2濃度空気供給システム」の導入に向けて展開する予定です。
5.本件に関する問い合わせ先
新日本空調株式会社 経営企画本部 広報課 高辻 勇
TEL:03−3639−2332(ダイヤルイン)
FAX:03−3639−2734
E-mail: takatsujii@snk.co.jp

新日本空調株式会社 産業施設事業部 営業部 榎本 真人
TEL:03−3639−2730
FAX:03−3639−2743
E-mail: enomotom@snk.co.jp

新日本空調株式会社 技術開発研究所 寺井 弘孝
TEL:0266−73−9611
FAX:0266−73−9615
E-mail: teraih@snk.co.jp