研究開発/施設

ケミカル分析室

半導体製造で問題となる化学物質の微量分析が可能な、部分的に高清浄度域を確保した6m×6mの分析室です。この中に分析機器の他、ケミカルフィルタで化学物質を除去した空気を供給できるクリーンドラフトチャンバー、超純水製造装置等を設置しています。

  • ケミカル分析室
  • ケミカル分析室

分析機器

  • イオンクロマトグラフ

 水溶液中のイオン成分を測定する装置で、液体クロマトグラフの一種。陽イオンと陰イオンの測定する2機をセットで設置。インピンジャー等を用いた溶液吸収法により空気中の測定成分を水中(超純水)に吸収させ、本機器に導入し分析します。

  • イオンクロマトグラフ
  • ガスクロマトグラフ−質量分析計

 空気中、水溶液中、有機溶媒中、固体中の有機成分を気体または液体に揮発、抽出して測定。測定対象が低濃度の場合には、吸着管(有機成分を吸着する特性を有する物質〜活性炭等〜を充填した管)を用いて、空気をサンプリングし、本機械に導入して分析します。
 本機械は、オートサンプラーと組み合わせることで試料導入から分析までをオートメーション化し、多数の試料を自動測定できます。また、GCの活用を高める工夫でにおい嗅ぎGC(GC-Olfactmetry = GC-O)により定性、定量という物理的情報とにおいの質や感覚強度という感覚情報を同時に得ることができます。

  • ガスクロマトグラフ−質量分析計
  • ADPACシステム

 ADPAC System(ADvanced Pollution and Air quality Chamber System)は早稲田大学田辺教授が開発した、建材・施工材等の各種材料から発生するホルムアルデヒドや揮発性有機化合物(VOC)などの化学汚染物質を精度良く測定が可能な小型チャンバーシステムです。チャンバー内に材料を設置し、キャリアガスを流通させ、アウトガス成分を捕集・分析します。

  • ADPACシステム