研究開発/施設

実験用クリーンルーム

天井全面にULPAを設置した5,200×4,300×2,700CHの垂直一方向流型の高清浄度クリーンルーム2室(Class1、Class10 at0.1μm)と、1,800×8,600×2,700CHの非一方向流型の計測室から成り、高清浄度クリーンルームは用途に応じて非一方向流型に容易に変更することができます。

  • 実験用クリーンルームの画像
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実験用クリーンルームでは、「空気清浄評価」「気流可視化」「微粒子可視化」「装置発塵評価」など、気流・粒子に係わる数々の実験が行われ、クリーンルームに関する研究のほとんどはこの実験設備を利用しています。
気流測定のための3次元超音波風速計、清浄度測定に必要なレーザーパーティクルカウンター、気流・微粒子可視化のための可視化システムなど、クリーンルームに関する実験で必要な測定器が常設されています。