研究開発/保有技術

イオン濃度解析技術

液晶・半導体製造等の生産プロセスで問題となる静電気。
その対策にはイオナイザなどの静電気除去技術が使われています。
しかし、適切なイオナイザの配置やイオン濃度分布の把握に関しては、まだまだ、十分な検討がなされていません。
その、空気中のイオン濃度分布の予測を可能にするのが、イオン濃度解析技術です。
熱流体解析に電場を考慮したイオンの輸送式を組み込み、気流および電場によるイオンの移動と、+-の結合によるイオンの消滅を計算することにより、空気中のイオンの濃度分布を解析します。

  • 正イオン濃度分布
  • 負イオン濃度分布

イオナイザからのイオン濃度分布