研究開発/保有技術

微量ケミカル分析技術

半導体製造等における製品歩留りに影響を与える化学物質として無機化合物、有機化合物、金属成分等が指摘されていますが、それぞれの分析はその物質の特性に応じた測定原理に従って行われるため、使用する分析機器も異なってきます。そのうち、無機成分を測定するためのイオンクロマトグラフと有機成分を測定するためのガスクロマトグラフ−質量分析計の2機種を導入しています。

分析機器および分析方法

  • ガスクロマトグラフ−質量分析計

空気中、水溶液中、有機溶媒中、固体中の有機成分を気体または液体に揮発、抽出して測定する機器です。サンプリング方法は、ポンプで試料空気を吸引し吸着管内を通過させ、空気中に存在する有機物質を吸着剤で捕集します。空気を大量にサンプリングすることによって、吸着剤を通過する空気量が増え、捕集される有機成分も増加・濃縮されるため、微量成分の測定が可能となります。測定結果の定量値をサンプリング空気量で除すことで空気中の濃度を算出します。

  • ガスクロマトグラフ−質量分析計
  • 吸着管