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高感度な光膜式モニタリング技術を応用した、発生微粒子を全量評価する技術です。 厳しい清浄度管理が要求される分野で用いる機械や器具の発塵性を検証することができます。
L-Wind は、微粒子可視化技術の高感度性能と光膜式モニタリング技術を応用して開発されたまったく新しいタイプの発塵量試験装置です。 グローブボックス内に設置した試験体から発生した微粒子の全量を、計測部にてリアルタイムに直接計数します。
微粒子発生量評価装置「L-Wind」(イメージ)
*仕様のカスタマイズは個別にご相談ください
試験結果(サンプル):粒子発生量時間変化(0.5μm以上)