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発生粒子全量評価技術

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微粒子可視化技術

高感度な光膜式モニタリング技術を応用した、発生微粒子を全量評価する技術です。
厳しい清浄度管理が要求される分野で用いる機械や器具の発塵性を検証することができます。

微粒子発生量評価装置「L-Wind」

L-Wind は、微粒子可視化技術の高感度性能光膜式モニタリング技術を応用して開発されたまったく新しいタイプの発塵量試験装置です。 グローブボックス内に設置した試験体から発生した微粒子の全量を、計測部にてリアルタイムに直接計数します。


微粒子発生量評価装置「L-Wind」(イメージ)

【主な仕様】
  • 試験体許容寸法:500×500×500 [mm]
  • 検知粒子サイズ(デフォルト設定):0.5μm、5μmの2レンジ
  • 検知時間分解能:30 [Hz]
  • バックグランド:1 [個/m3]以下

*仕様のカスタマイズは個別にご相談ください

評価装置の特長

  • 発生粒子の全量計数が可能です。
  • 高速サンプリング技術により、応答性の高い測定が可能です。発生量に時間変化がある試験体でも、その変化を忠実に計測できます。(下図)
  • クリーン用品等の静的な製品から、ロボット等の可動部を持つ機械まで、幅広い試験が可能です。
  • 流体力学的に設計された風洞によって低乱かつ一様な気流が確保されているため、発生量の濃度換算が可能です。
  • 個数データとともに、微粒子を可視化した動画も記録できます。データのエビデンスをリアルタイム映像としても確保できます。
  • 装置はクラス10のクリーンルームに設置されており、データへの外的影響がほぼない環境で計測可能です。

図2
試験結果(サンプル):粒子発生量時間変化(0.5μm以上)

発生粒子全量評価技術を活用するためのベストソリューション