独自開発の高速画像処理技術「ViEST®エンジン」を実装した可視化用高感度カメラ
製品ラインナップ
パーティクルアイ®は、目視では確認が難しい微粒子や発塵の挙動をリアルタイムで可視化できる超高感度カメラです。異物調査、発塵源特定、クリーンルーム評価、気流解析などの課題解決に活用され、粒子の個数や輝度値の定量解析にも対応します。微粒子可視化の可能性を広げるキーテクノロジーの一つ、高速画像処理技術「ViESTエンジン」が実装された３種類のモデルを用意しました。
超高感度モデル「パーティクルアイ EX」
ナノサイズ粒子の可視化や広画角の気流観察、明るい環境での撮影に対応した、超高感度特性を持つハイエンドモデルです。半導体・電子部品製造、クリーンルームをはじめとした製造現場での微粒子・異物評価や発塵源調査に活用されています。
高速撮影対応モデル「パーティクルアイ HS」
実現が難しいとされてきた微粒子の高速挙動を可視化できるモデルです。微粒子の高速挙動や気流を可視化でき、発塵した粒子の挙動比較や異物評価、ミスト・エアロゾル解析などに活用されています。
小型高感度モデル「パーティクルアイ STD」
高感度かつ小型で持ち運びやすいスタンダードモデルです。微粒子・異物評価、発塵評価から教育・広報向けの可視化映像撮影にも活用されています。
パーティクルアイ ラインナップ
特長1従来モデルの100倍の高感度を実現
微粒子からの非常に微弱な散乱光（レーザー照射時に粒子によって散乱される光）を検出することに特化した自社開発の高速画像処理技術「ViESTエンジン」によって、従来モデルと比べて約100倍の高感度（受光量換算）を実現しました。これにより、半導体製造工程やクリーンルーム環境におけるサブミクロン粒子・ナノ粒子の可視化が可能となり、0.09µmの微粒子の可視化にも成功しています（パーティクルアイ EX）。
当社基準感度の撮影条件
散乱光検出感度(当社基準感度)の比較
特長2様々なシチュエーションにおいて最適な可視化を実現
検出対象や撮影環境に合わせて製品ラインナップから最適な機器を選択し、微粒子可視化システムを構築できます。そのため、製造工場や研究開発施設、クリーンルーム、製造装置内、実験室、屋外環境など、さまざまなシチュエーションで可視化撮影に対応しています。クリーンルームや医薬品・半導体製造現場などの高清浄度環境における浮遊粒子や発塵の可視化はもちろん、一般工場や屋外環境における粉塵、ミスト、ヒューム、気流の流れの可視化も可能です。また、製造装置内部や配管周辺、自動車周辺の気流観察、高速回転するタイヤからの発塵評価、ボール盤加工や基板実装工程などの高速現象の撮影にも対応しています。さらに、異物混入対策、発塵源調査、歩留まり改善、換気性能評価、空調評価、製品性能評価など幅広い用途で活用されており、目視では確認できない微粒子や気流の挙動を映像として「見える化」します。
特長3粒子に関する定量情報のリアルタイム解析が可能
ViESTエンジンは、粒子からの微弱な散乱光だけでなくノイズも含むような映像から粒子の輝度分布のみを抽出でき、それを視認レベルまで増幅することができるため、粒子に関する定量情報をノイズに埋もれて損なわせることなく取得することができます。この技術により、例えば、微粒子可視化撮影を行いながら粒子の個数や輝度値といった定量情報をリアルタイムに取得することができます。
また、取得したデータは保存・出力が可能であり、時系列変化や粒子の輝度値の変化をグラフやレポートとして可視化できます。これにより、原因究明から対策効果の検証までを効率的に行うことができます。微粒子可視化、粒子計数、発塵評価、異物調査、気流評価における高精度なデータ活用を可能にします。
ViESTエンジンの概要